國家實驗研究院儀器科技研究中心

國研院儀科中心在今年台灣國際半導體展中，展出自行研發的 ALD 鍍膜系統及可協助半導體產業先進系統設計與新穎材料測試的「原子層沉積聯合實驗室」服務平台。